空氣中的主要成分是氮和氧，利用環(huán)境溫度下，空氣中氮?dú)夂脱鯕庠诜惺肿雍Y（ZMS）上的吸附性能不同（氧氣能通過(guò)而氮?dú)獗晃剑O(shè)計(jì)適當(dāng)?shù)墓に囘^(guò)程，而使氮和氧分離制得氧氣。氮?dú)庠诜惺雍Y上的吸附能力比氧氣強(qiáng)（氮與分子篩表面離子的作用力強(qiáng)），當(dāng)空氣在加壓狀態(tài)下通過(guò)裝有沸石分子篩吸附劑的吸附床時(shí)，氮?dú)獗环肿雍Y吸附，氧氣因吸附較少，在氣相中得到富集并流出吸附床，使氧氣和氮?dú)夥蛛x獲得氧氣。當(dāng)分子篩吸附氮?dú)庵两咏柡秃?，停止通空氣并降低吸附床的壓力，分子篩吸附的氮?dú)獗憧梢越馕鰜?lái)，分子篩得到再生并可重復(fù)利用。兩個(gè)以上的吸附床輪流切換工作，便可連續(xù)生產(chǎn)出氧氣。

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氧氣和氮?dú)獾姆悬c(diǎn)接近，兩者很難分離，一起在氣相得到富集。因此變壓吸附制氧裝置通常只能獲得濃度為90-95%的氧氣（氧的極限濃度為95.6%，其余為氬氣）又稱富氧。與深冷空分裝置相比，后者能制成99.5%以上濃度的氧氣。

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