EasyCoater 6程控型勻膠機(jī) 旋涂儀 旋轉(zhuǎn)涂層機(jī) 旋轉(zhuǎn)涂膜儀的詳細(xì)描述：

EasyCoater 6 勻膠機(jī)被設(shè)計(jì)為涂膠處理小碎片至6 英寸圓晶尺寸底物，使用工業(yè)級直流馬達(dá)和高級PLC 控制，4.3寸全彩觸屏人機(jī)界面操作。EZ6 勻膠機(jī)設(shè)計(jì)標(biāo)準(zhǔn)為結(jié)構(gòu)緊湊、簡單易用，程控操作，具有優(yōu)異的性價(jià)比。

產(chǎn)品性能介紹：

EasyCoater 6 勻膠機(jī)設(shè)計(jì)標(biāo)準(zhǔn)為結(jié)構(gòu)緊湊、簡單易用，程控操作，具有優(yōu)異的性價(jià)比。

1.結(jié)構(gòu)緊湊

EZ6外形尺寸為358mm(L)*256mm(W)*258mm(H)，特別適合放于手套箱內(nèi)操作。最大可選圖6英寸圓晶的底物

2.簡單易用

彩色屏幕控制，界面簡單易用，且自帶幫助功能，提供使用向?qū)?，對初次使用者非常方?/p>

3.程控操作

提供多步變成旋涂工藝運(yùn)行，最多可貯存10步10組程序，還可升級自動(dòng)點(diǎn)膠功能。

4.性能穩(wěn)定

工業(yè)級直流馬達(dá)和高級PLC 控制，轉(zhuǎn)軸旋轉(zhuǎn)穩(wěn)定，重復(fù)性好，真空系統(tǒng)設(shè)計(jì)獨(dú)特，可靠性好

產(chǎn)品參數(shù)說明：

1.HDPE高分子耐腐蝕、易清潔內(nèi)艙，帶排廢功能

2.SUS耐腐蝕不銹鋼機(jī)身，經(jīng)久耐用

3.耐溶劑性PC透明蓋子，提供動(dòng)態(tài)和靜態(tài)點(diǎn)膠功能

4.4.3寸全彩觸屏人機(jī)界面，提供觸屏筆操作

5.100W直流無刷電機(jī)，高級PLC控制

6.內(nèi)腔直徑180mm，可處理碎片(小于1cm）至6英寸圓晶底物

7.速度可調(diào)范圍：200－10000rpm，轉(zhuǎn)速分辨率1rpm

8.加速度可調(diào)范圍：100－10000rpm/s

9.可進(jìn)行多步程序運(yùn)行，最多可存貯10組10步程序

10.帶一只自動(dòng)點(diǎn)膠端口，可升級為電動(dòng)點(diǎn)膠功能

11.寬輸入電壓適用：AC100-230V輸入

12.帶真空和蓋子開關(guān)互鎖功能，確保操作安全

13.可選擇設(shè)置開機(jī)密碼功能提高設(shè)備操作安全性

產(chǎn)品附件選擇：

1.標(biāo)配四只真空載物盤（3/16,1/2，1”&2.25），適于碎片至6英寸圓晶的處理

2.定制在午盤可選，根據(jù)基片尺寸和要求可提供嵌入式或檔桿式載物盤設(shè)計(jì)加工

3.用于薄膜基片可提供定制微孔真空載物盤

4.無油真空泵（抽氣量15L/min以上）或真空發(fā)生器可選

5.蓋子上密封塞子可選，或全密封式蓋子可選

6.手持式對中裝置可選

7.蓋子上點(diǎn)膠針筒支架手動(dòng)點(diǎn)膠可選

8.瓶口分液器手動(dòng)點(diǎn)膠可選

9.溶洞泵/注射泵自動(dòng)點(diǎn)膠可選配