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產(chǎn)品品牌日本union
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更新日期2015-09-23 09:51
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品牌: |
日本union |
所在地: |
廣東 東莞市 |
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長期有效 |
品牌:日本unio
HISOMET DHII測量顯微鏡由unio光學(xué)株式會社生產(chǎn),unio光學(xué)株式會社為日本綜合光學(xué)機(jī)器廠商,
DHII測量顯微鏡是由unio的專利研發(fā)生產(chǎn),采用裂像圖案的輔助聚焦系統(tǒng) ,通過裂像的上下標(biāo)記線重合來得到確切的對焦面 ,而不是通過觀察工件表面是否清晰來人為判斷 ,因此可以得到非常高精度的高度測量 .此測量顯微鏡在半導(dǎo)體封裝和電子裝配應(yīng)用領(lǐng)域中已充分表現(xiàn)出其獨(dú)特性能和精度,是業(yè)界的首選裂像圖案的輔助聚焦系統(tǒng)
此設(shè)備采用unio光學(xué)株式會社專有的裂像輔助對焦系統(tǒng),能在測高方面達(dá)到1微米的精度。完全勝過尼康NIKON、奧林巴斯OLYMPUS等同類型測量顯微鏡。
1. 測量金線弧高 ,晶片高度和基板高度晶片的刻線寬度 ,距離和位置等平面尺寸
A:測量金線弧高進(jìn)行對焦
B:測量晶片高度進(jìn)行對焦
C:對基板進(jìn)行對焦測量
2. 測量晶片表面四周 1-2-3-4點(diǎn)的高度差 ,可以評估封裝后晶片的平面度 /共面性.
3. 現(xiàn)在 8”和 12”晶圓是趨勢和晶圓級封裝技術(shù)采用 ,需要快速一次進(jìn)行平面和高度 /階梯測量,因此測量顯微鏡工作臺行程 200200mm和 300300mm已成為必需 ,同時(shí)根據(jù)工藝的要求,可以選用不同的臺面 ,如標(biāo)準(zhǔn)的方玻璃臺面 ,特配的可旋轉(zhuǎn)圓臺面 ,或者晶圓托盤 .
產(chǎn)品詳情: http://www.wyldar.com/productshow.asp?id=1006
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