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更新日期2015-10-17 11:04
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招遠(yuǎn)普斯瑪?shù)入x子技術(shù)有限公司
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品牌： |
戈德爾 |
所在地： |
山東 煙臺市 |
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供貨總量： |
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有效期至： |
長期有效 |
規(guī)格： |
630(W)×650(D)×420(H)mm |
630(W)×650(D)×420(H)mm
◆ 倉體結(jié)構(gòu)(耐熱玻璃或石英玻璃，約10升)Φ215 × 300(L) mm
◆ 電極面積(外置電容耦合或電感耦合電極)180(W) ×210(D) mm
◆ 等離子發(fā)生器(韓國KM)頻率13.56MHZ,功率0-300W連續(xù)調(diào)節(jié),自動阻抗匹配
◆ 控制系統(tǒng)觸摸屏（7寸）+PLC單步法全自動控制,采用歐姆龍、西門子等世界著名品牌電器元件,并具有手動、自動兩種模式
◆ 真空系統(tǒng)德國萊寶(Leybold)真空泵 D16C (20m3/h)
SMC截止閥、充氣閥，德國(Inficon)壓力傳感器
◆ 壓力控制PID閉環(huán)自動穩(wěn)壓控制
◆ 氣路系統(tǒng)2路工藝氣體配置，電子質(zhì)量流量計、針閥，美國飛托克(FITOK)氣體管路
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