精密運動控制系統(tǒng)解決方案|運動控制器|驅動器|伺服電機|執(zhí)行機構|電動缸|6自由度平臺|拉曼光譜儀|比對儀|干涉儀|軸承|導軌|絲…
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更新日期2023-11-18 19:18
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品牌： |
aerotech |
所在地： |
江蘇 蘇州市 |
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長期有效 |
ABL3600氣浮平臺
1專為掃描顯微鏡/掩模/晶片檢測獨特應用設計
2雙軸,大孔,開放式結構
3非接觸直線編碼器反饋,精度高
4雙直線電機驅動XY軸
5所有軸全預加負載氣浮導軌(空氣軸承)
行程≤250mm
精度±1um
重復定位精度±0.20um
直線度±0.50um
平面度±1um
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